一、潔凈度級別的定義
潔凈室的級別是按其空氣潔凈度劃分的。1963年，發明了單向流理念的圣地亞公司的專家們，在美國軍方、政府部門和同行們的支持下撰寫了第一個FS 209標準，以0.5μm粒徑的懸浮粒子數量作為潔凈度級別判定的依據。該標準對潔凈室的設計和運行產生了巨大的影響，并成為包括ISO 14644-1在內的諸多國際標準的基礎。FS 209在更新至版本E后被ISO 14644-1所取代，但老版本仍被廣泛采用。下面是FS 209E和ISO 14644-1:2015的分級示意圖：
FS 209E標準
| NO | 等級名稱 | 等級限值 |
|---|
| 0.1 | 0.2 |
0.3 | 0.5 | 5 |
| 容積單位 | 容積單位 |
容積單位 | 容積單位 | 容積單位 |
| 國際單位 | 英制單位 | m3 | ft3 | m3 | ft3 |
m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 |
| 1 | M1 | | 350 | 9.91 | 75.7 |
2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | —— |
—— |
| 2 | M1.5 | 1 | 1240 | 35 | 265 |
7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | —— | —— |
| 3 | M2 | | 3500 | 99.1 | 757 |
21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | —— | —— |
| 4 | M2.5 | 10 | 12400 | 350 | 2650 |
75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | —— | —— |
| 5 | M3 | | 35000 | 991 | 7570 |
214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | —— |
—— |
| 6 | M3.5 | 100 | —— | —— | 26500 |
750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | —— | —— |
| 7 | M4 | | —— | —— | 75700 |
2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | —— |
—— |
| 8 | M4.5 | 1000 | —— | —— | —— |
—— | —— | —— | 35300 | 1000 | 247 | 7 |
| 9 | M5 | | —— | —— | —— |
—— | —— | —— | 100000 | 2830 | 618 |
17.5 |
| 10 | M5.5 | 10000 | —— | —— | —— |
—— | —— | —— | 353000 | 10000 | 2470 |
70 |
| 11 | M6 | | —— | —— | —— |
—— | —— | —— | 1000000 | 28300 | 6180 |
175 |
| 12 | M6.5 | 100000 | —— | —— | —— |
—— | —— | —— | 3530000 | 100000 | 24700 |
700 |
| 13 | M7 | | —— | —— | —— |
—— | —— | —— | 10000000 | 283000 | 61800 |
1750 |
ISO 14644-1:2015標準
| ISO 等級 | 等于和大于粒徑的最大可允許濃度（粒子/m3） |
|---|
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm |
| 1 | 10 | —— | —— | —— | —— | —— |
| 2 | 100 | 24 | 10 | —— | —— | —— |
| 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | —— | —— |
| 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | —— |
| 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | —— |
| 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| 7 | —— | —— | —— | 352000 | 83200 | 2930 |
| 8 | —— | —— | —— | 3520000 | 832000 | 29300 |
| 9 | —— | —— | —— | 35200000 | 8320000 | 293000 |
二、潔凈度檢測方法
在潔凈度級別的判定和日常檢測中，檢測人員應確認以下測試參數：
• 最小采樣點的個數
• 采樣點的位置
• 最少采樣體積和采樣時間
三、檢測周期
• A、B級區域最長檢測間隔不應超過6個月；
• C、D級區域最長檢測間隔不應超過12個月
四、檢測設備
檢測所使用的粒子計數器應有有效的校準證明：校準的頻率和方法應按ISO 21501-4所述的現行認可規定來執行。
二、潔凈度檢測方法