氣流流型及流向驗證的目的是確認氣流流型、方向及其均勻性與設計和性能技術要求相符。 潔凈室中的氣流流型分為兩大類:單向流(層流)和非單向流(紊流/亂流)。
驗證氣流流型的主要方法有示蹤劑法和示蹤線法,即使用發煙器或懸掛單絲線的方法逐點觀察和記錄氣流流向。發煙源可使用超聲波霧化(0.5μm~50μm水霧)的DI水,在高強度光源下進行示蹤。
氣流流向檢測方法分為以下四種:
示蹤線法
示蹤劑法
采用圖像處理技術的氣流顯形檢查
借助速度分布測量的氣流顯形檢查
使用示蹤劑法時,可采用與測定氣流流型同樣的方法,觀測定向流流向并記錄。可分段接力發煙,目測繪制或攝影、攝像。