潔凈度檢測方法
潔凈室的級別是按其空氣潔凈度劃分的。1963年，發(fā)明了單向流理念的圣地亞公司的專家們，在美國軍方、政府部門和同行們的支持下撰寫了第一個(gè)FS 209標(biāo)準(zhǔn)，以0.5μm粒徑的懸浮粒子數(shù)量作為潔凈度級別判定的依據(jù)。該標(biāo)準(zhǔn)對潔凈室的設(shè)計(jì)和運(yùn)行產(chǎn)生了巨大的影響，并成為包括ISO 14644-1在內(nèi)的諸多國際標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)。
在潔凈度級別的判定和日常檢測中，檢測人員應(yīng)確認(rèn)以下測試參數(shù)：
? 最小采樣點(diǎn)的個(gè)數(shù)
? 采樣點(diǎn)的位置
? 最少采樣體積和采樣時(shí)間
