塵埃粒子計數(shù)器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器,由顯微鏡發(fā)展而來,經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數(shù)器、激光空氣粒子計數(shù)器等過程,目前廣泛應用于電子行業(yè)、制藥車間、半導體、光學或精密機械加工、塑膠、檢驗所等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門。主要由氣路系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等部分組成。
其工作原理是:空氣中的粒子對入射光有散射作用,散射光的強度與粒徑有關,將含有塵埃顆粒的空氣從塵埃粒子計數(shù)器的采樣口吸入,通過光敏感區(qū)時,塵埃粒子受光散射,散射出與粒子大小成一定比例關系的光脈沖信號,該信號被光敏器件接受并轉換成相應的電脈沖信號再被放大,通過對一個檢測周期內電脈沖的計數(shù),便可得知單位體積采樣空氣中的塵埃粒子個數(shù),即粒子濃度。