潔凈室(cleanroom)這個名詞和概念源于18世紀六十年代的歐洲醫學,當時的理解僅限于經噴灑消毒后可以控制創部感染率的處置室、手術室這類滅菌處理的工作環境。現代潔凈室雖然延用了這個名詞,但在定義和內涵上都與原有的概念有根本的不同,現代潔凈室形成一項專門技術,其歷史不過只有半個世紀。隨著科技的發展潔凈技術(cleanroom)是適應實驗研究與產品加工的精密化、微型化、高純度、高質量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術。
潔凈室等級標準
潔凈室等級標準和ISO 14644一樣,都是根據懸浮粒子濃度這個指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。
為了更好的檢測潔凈室內的粒子可選用粒子計數器